东莞鑫盛达机电设备提供爱发科ULVAC LR1800干式真空泵维修爱发科真空泵维修

LR系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

东莞鑫盛达机电设备为你提供的爱发科ULVAC LR1800干式真空泵维修服务

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

用途

·活性气体（CVD、刻蚀等）

·排出非活性气体（测射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。

·用于产生粉尘工艺中的排气（单晶炉等)

·作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。

·冷冻干燥等水蒸气排气。

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东莞鑫盛达机电设备有限公司主要从事真空泵的研发生产，销售，真空系统量身订制。单级旋片油式真空泵，无油活塞式真空泵，无油隔膜泵，干式罗茨真空泵，干式螺杆泵，干式爪式真空泵，涡旋真空泵，各类型真空泵的维修保养。德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发，英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺，爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,美国安捷伦Agilent，泰悉尔Tuthill，寿力Sullair,台湾汉钟等品牌；供应各种品牌的真空泵配件，真空泵油，真空泵油雾分离器，真空泵空气过滤器，油格，风扇，真空泵叶片，旋片，碳精片，24小时服务热线13509820116。