iXL系列是一系列低能耗紧凑型干式泵，适用于晶圆处理、PVD和计量等轻型应用。

快速腔室抽空和极低的功耗

iXL600（N）和iXL1000（N）干式泵是适用于轻型应用的最小、最安静的泵之一

iXL600M和iXL1000M变体经过工艺硬化，专为介电（氧化物）蚀刻和其他类似应用而设计

iXL600（N）和iXL1000（N）干式泵具有高泵送速度和低能耗的特点

iXL900R是目前同类产品中用于FPD负载锁应用的最快负载锁泵。客户可以使用这种新泵显著降低运营成本和安装时间，这种泵特别适合用于等离子体气相沉积（PVD）应用的最大装载锁室。此外，客户每个装载锁室将需要更少的泵，从而减少安装时间、系统化成本、维护和公用设施消耗。

绿色模式允许在闲置期间减少公用事业的使用，降低成本，并有助于提高您的环境绩效

东莞鑫盛达机电设备有限公司主要从事真空泵行业，销售维修进口真空泵，真空泵系统量身订制，单级旋片油式真空泵，无油活塞式真空泵，无油隔膜泵，干式罗茨真空泵，干式螺杆泵，干式爪式真空泵，涡旋真空泵，真空泵维修/保养；德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发，英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺，爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,荏原Ebara,美国安捷伦Agilent，泰悉尔Tuthill，寿力Sullair,台湾汉钟HANBELL,沈科仪SKY等品牌；供应真空泵配件，真空泵油，真空泵油雾分离器，真空泵空气过滤器，油格，风扇，真空泵叶片，旋片，碳精片服务热线13509820116。