真空泵的常见故障及原因

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由于真空设备长期运转及其他一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下；

1)极限真空度变低，原因：a.系统中有渗漏；b.系统太脏；c.泵油污染；d.加热功率不够；e.冷却水不足；f.过量或过冷的冷却水；g.前级压力高，检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；h.快冷管内有水。

2)抽气较慢，原因：a.加热功率低；b.油量不足；c.喷帽安装位置不当或受损。

3)进口压力波动，原因：a.加热器输入功率不当；b.油脱气；c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4)工作腔污染大，原因：a.前级压力高；b.在高于10-1Pa压力下长期工作；c.系统操作有误。

5)返油率过大，原因：a.顶喷嘴帽松动，间隙过大；b.加热功率不对。

真空泵的油蒸气并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸气有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流；返流是真空泵系统的主要污染。