干式真空泵中出现颗粒物

在干式真空泵中出现颗粒物有下列三种情况：

①当泵内压力增高时引起气体变相过程的发生；②在泵内产生反应气体的生成物；③抽气过程混入的颗粒物。防止颗粒物在泵中气口

形成的最好措施有：增加抽气通道中气流速度。为防止处于悬浮状态的固体颗粒物沉积，使气体的流动速度大于颗粒沉积的临界速度（即最大降落速度）,在泵内及早充人适量的气体，使气流速率大于颗粒沉积临界速度，保证颗粒物实现气动输送。但是充人气量不能过大，过大的气量将影响泵的极限压力，在不同的抽气系统中，通过实验确定最佳充入气量。适当提高泵温。物质的升华、凝固是压力和温度的函数，且函数关系随物质的不同而不同，所以调整泵的温度可避免气固变相过程的发生。降低参加化学反应气体的浓度，单位时间内气体反应生成物（颗粒）的数量可用反应率来表示，而反应率和反应气体浓度成指数关系，所以在生产工艺中充入情性气体，减少反应气体浓度是降低生成颗粒物的最有效的方法。通常这类泵压缩气体之前就通入情性气体，避免固体颗粒物的产生。此外，引入情性气体使反应气体浓度降低到低于着火极限，也可以防止CVD(化学气相沉积）过程中出现爆炸事故。

由于在半导体工业使用的气体和反应物都要通过干泵排出，这些物质与空气和水蒸气混合，往往能形成氧化物，有些能自燃并可能引起爆炸，因此在半导体工业排气工艺中，使用的干式真空泵要经过这些恶劣环境的考验，这些在设计和选择使用干式真空泵时要引起足够的重视。

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