干式真空泵罗茨增压泵

干式真空泵机组一般由一台多级干式真空泵和一台罗茨增压泵组成，干式真空泵主要有进样真空腔（L

罗茨式、爪式、罗茨爪型组合式和螺杆式四种。多级干式真空泵的泵腔内不含油或任何介传送（Transfer)

质，能够实现清洁抽空无返油，转子均悬浮在泵腔内，转子间及转子与泵腔间均无摩擦，可计量（Metrolog

直排大气独立工作并可在高压下长期连续工作，能抽除可凝性、腐蚀性、剧毒性、放射性、光剂（Lithogra

易燃易爆气体以及气体携带的金属粉尘及矿物颗粒，能做传输泵使用，压缩比良好。多级干物理气相沉积

式真空泵特别适用于真空度达1Pa,含水分和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片、光学通讯设备及物理气相沉积

平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程，此外，在化工、薄膜、仪器、医药、生物制品和前清洁（PVDp

食品领域也有大量应用。给出了不同系列干泵机组型号及技术参数。

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