低温泵是利用低温(低于100K)表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。 它有很多优点:①起始压力高(原则上可从大气压开始抽气),极限压力低,可达10-13抽除 因此,其工作压力范围宽:@抽速大,对于20℃空气,最大抽速可达11.6L/(s.cn2) ③可以抽除各种气体,从而获得清洁的超高真空;④作为大容量的排气系统,占地面积小,各种 电力消耗少;⑤有极大的灵活性,可以做成插入式,用于无法布置其他类型泵的场合。低温1-104 泵运行时需要冷剂或制冷设备, 低温泵的应用范围相当广泛:①在空间科学技术中,宇宙空同存在着真空和低温状态,低温 外层空间的真空度可达10-1Pa,温度为3K左右,因此,低温泵是字宙空间模拟的理想设缩, 备。此外,研究空间条件下材料表面现象,低压空气动力学试验,火箭发动机高空点火试胀机 验,空间生物技术等,都用低温泵,②应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中,③应用与低 在薄膜制备领域,③应用在微电子学,尤其是半导体微电子技术,如离子注入,离子刻饼等。⑤应用在近代科学仪器中,如扫描电镜、电子衍射仪等各种表面分析仪器。 东莞鑫盛达机电设备有限公司主要从事真空泵行业,销售维修进口真空泵,真空泵系统量身订制,单级旋片油式真空泵,无油活塞式真空泵,无油隔膜泵,干式罗茨真空泵,干式螺杆泵,干式爪式真空泵,涡旋真空泵,真空泵维修/保养;德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发,英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺,爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,荏原Ebara,美国安捷伦Agilent,泰悉尔Tuthill,寿力Sullair,台湾汉钟HANBELL,沈科仪SKY等品牌;供应真空泵配件,真空泵油,真空泵油雾分离器,真空泵空气过滤器,油格,风扇,真空泵叶片,旋片,碳精片服务热线13509820116。
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