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低温泵的选型技术

来源:东莞鑫盛达机电设备有限公司      时间:2025-05-20 09:05:00

低温泵是利用低温(低于100K)表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。

它有很多优点:①起始压力高(原则上可从大气压开始抽气),极限压力低,可达10-13抽除

因此,其工作压力范围宽:@抽速大,对于20℃空气,最大抽速可达11.6L/(s.cn2)

③可以抽除各种气体,从而获得清洁的超高真空;④作为大容量的排气系统,占地面积小,各种

电力消耗少;⑤有极大的灵活性,可以做成插入式,用于无法布置其他类型泵的场合。低温1-104

泵运行时需要冷剂或制冷设备,

低温泵的应用范围相当广泛:①在空间科学技术中,宇宙空同存在着真空和低温状态,低温

外层空间的真空度可达10-1Pa,温度为3K左右,因此,低温泵是字宙空间模拟的理想设缩,

备。此外,研究空间条件下材料表面现象,低压空气动力学试验,火箭发动机高空点火试胀机

验,空间生物技术等,都用低温泵,②应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中,③应用与低

在薄膜制备领域,③应用在微电子学,尤其是半导体微电子技术,如离子注入,离子刻饼等。⑤应用在近代科学仪器中,如扫描电镜、电子衍射仪等各种表面分析仪器。

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