热线电话:
135 0982 0116

低温泵的抽气原理和分类

来源:东莞鑫盛达机电设备有限公司      时间:2024-10-11 19:56:28

低温泵是利用低温(低于100K)表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。

它有很多优点:①起始压力高(原则上可从大气压开始抽气),极限压力低,可达10-13Pa,因此,其工作压力范围宽:②抽速大,对于20℃空气,最大抽速可达11.6L/(s.cm2);

③可以抽除各种气体,从而获得清洁的超高真空:④作为大容量的排气系统,占地面积小,电力消耗少;⑤有极大的灵活性,可以做成插入式,用于无法布置其他类型泵的场合。低温泵运行时需要冷剂或制冷设备,

低温泵的应用范围相当广泛:①在空间科学技术中,宇宙空间存在着真空和低温状态,外层空间的真空度可达10=*Pa,温度为3K左右,因此,低温泵是宇宙空间模拟的理想设备。此外,研究空间条件下材料表面现象,低压空气动力学试验,火箭发动机高空点火试

验,空间生物技术等,都用低温泵。②应用在高能物理,等离子体和核聚变研究中,③应用在薄膜制备领域。④应用在微电子学,尤其是半导体微电子技术,如离子注人,离子刻蚀等,⑤应用在近代科学仪器中,如扫描电镜、电子衍射仪等各种表面分析仪器。


在低温抽气过程中,低温表而上发生的现象是十分复杂的。它受传导,气固相变,低温沉积物的不断增长与变化,低温沉积物的结构及其热物理性质等因素的影响,而且被抽气体热物理性质是各不相同的多组分混合物,使情况更加复杂。因此,探明气体分子束缚在低温表面上的力的性质及低温抽气机理是现代物理学最复杂的问题之一

关于低温抽气机理,有许多不同的看法,大致可归纳为两种:一种是按速度分布决定捕获率的学说,它认为飞到冷表面的气体分子中,仅仅是能量低于某一临界值的分子才被捕获;另一种是动态平衡学说,它认为飞到冷表面的气体分子停留在冷表面上,同时有另外些分子从表面蒸发,离开表而,被抽捉和离开表面的分子之差就是抽气速度。后者比较流行,本书按后者介绍低温抽气机理。

东莞鑫盛达机电设备有限公司主要从事真空泵行业,销售维修进口真空泵,真空泵系统量身订制,单级旋片油式真空泵,无油活塞式真空泵,无油隔膜泵,干式罗茨真空泵,干式螺杆泵,干式爪式真空泵,涡旋真空泵,真空泵维修/保养;德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发,英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺,爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,荏原Ebara,美国安捷伦Agilent,泰悉尔Tuthill,寿力Sullair,台湾汉钟HANBELL,沈科仪SKY等品牌;供应真空泵配件,真空泵油,真空泵油雾分离器,真空泵空气过滤器,油格,风扇,真空泵叶片,旋片,碳精片服务热线13509820116





CopyRight ©2022 东莞鑫盛达机电设备有限公司 备案号:网站备案号:粤ICP备2022082112号 网站地图 站点地图