真空泵维修阿尔卡特A1503真空泵修

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阿尔卡特A1503H干式真空泵产品优势

A系列多级干式真空泵，结合罗茨与爪型转子吸气原理，通过多级转子的优化组合，大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势，从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速，地实现了洁净真空环境的获得。

1、高清洁度的真空环境

2、整机高可靠性

3、稳定的运转性能

4、自适应智能控制

5、工艺安全性

产品原理

(真空泵维修阿尔卡特A1503H真空泵维修)多级干式真空泵采用了罗茨转子与爪型转子组合的结构，充分利用了罗茨转子在低压区抽气，爪型转子在高压区抽气的特点，同时融合了爪型转子抽气通道短，压缩气体产生热量更高的特点，其性能相对于传统单纯爪型或单纯罗茨真空泵更具优势。

应用：

集成电路、太阳能电池、LED领域，可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程，也可用于PVD、刻蚀，多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。

其他应用：

真空冶金（回火和退火、钢脱气，表面处理熔化，精炼，铸造和焊接等）;

真空镀膜系统（玻璃镀膜、精密光学等）;

真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等

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