真空泵维修爱德华真空泵维修中常见问题之三

真空泵维修爱德华真空泵维修中常见问题之三

故障Warning 39.11-Exh Press High (警告39.11-排气压力过高)

原因 排气管路中压力过高。

-管道中的一个阀门可能关闭。

-排气管中可能有制程碎層或冷凝物。 -排气管上可能连接了过多的泵系统。

补救措施 参见意外关闭和报警第页的56来确定导致警告的排气压力。

检查排气管路中的所有阀门是否开启，并且考虑是否有工艺碎片或冷凝物。

故障 Warning 39.13- Sensor missing (警告39.13-传感器缺失)

原因 未安装排气压力传送器，或传送器断开或者出现故障。

补救措施 如有必要，检查并调整。

故障 Warning 51.13-Sup Missing (警告51.13-电源缺失))

原因 泵控制器间存在通信问题。有关更多信息，请参见泵控制器通信第页的160。

补救措施 重新启动泵。如果警告仍旧存在，联系我们更换泵控制器。

故障 Warning 54.11-MB Temp High (警告 54.11-MB温度过高)

原因 增压泵温度过高。

补救措施 检查是否连接了冷却水并已打开，还应符合冷却水数据中提供的规格。

故障 Warning 54.13-Sensor missing(警告54.13-传感器缺失)

原因 坩压器温度传感器可能断开或失效。

补救措施 -检查是否安装并正确连接增压泵温度传感器。

-检查传感器的运行，如果发生故障，则予以更换。

故障 Warning 55.11/ Warning 63.11-DP Temp High (警告55.11/ 警告63.11-干泵温度

过高)

原因 泵内部温度过高。

补救措施 检查是否连接了冷却水并已打开，还应符合冷却水数据第页的25中提供的规

格。

故障 Warning 55.13/ Warning 63.13-Sensor missing (警告 55.13/警告63.13-传感器

缺失)

原因干式泵温度传感器可能断开或失效。

如需了解更多详细参数，请致电鑫盛达工程师13509820116.（爱德华真空泵，爱德华真空泵维修，真空泵维修找东莞鑫盛达机电）