真空泵维修爱德华干泵维修的常见故障代码 故障 事件11.42 原因泵预热不足,无法立即进入工艺过程。 补救措施 降低预热温度(参见降低预热温度第页的125),使泵在冷态下进入工作过程 或者等待泵预热后进入工作过程。 故障 事件11.45 无法进入工作过程。泵存在有效的连锁。 原因 泵运行未完成的 DP Clean序列。 补救措施 -等待 DP clean 完成或手动使其停止(参见干式泵清洁第页的57)。 .如果使用溶剂冲洗,我们建议让泵完成清洗循环。 -如果已将 DP clean 配置为在清洁循环后运行清洗循环,那么需要发送两条‘off’指令。 故障 事件317.43 无法开始指令。泵未处于绿色模式。 原因 泵必须处于绿色模式/特机模式以触发PID 自动调谐, 补救措施 将泵设置为绿色模式/待机模式,然后启动 PID 自动调谐。 故障 事件317.46 无法开始指令。泵不运行。 原因 泵必须运行以触发PID 自动调谐。 补救措施 启动泵,将其设置为绿色模式/待机模式,然后启动 PID 自动调谐。 故障 事件317.47 无法开始指令。已在泵上运行。 原因 泵已经在运行PID自动调谐。 补救措施 完成自动调谐或在再次发送 PID 自动调谐指令前使其停止。 故障 事件322.22 无法开始指令。泵没有停止。 原因 在启动溶剂浸泡前,必须将泵停止。 补救措施 停止泵,然后重复该指令。 故障 事件331.42 无法开始指令。泵没有预热。 原因必须预热泵并在绿色模式/待机模式中触发DP Clean序列。 如需了解更多详细参数,请致电鑫盛达工程师13509820116.
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