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爱德华EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180使用了特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7×10-5Torr的极限压力。

模块化EPX180基于备受赞誉、大获成功的IPX系列，可提供的性能，与IPX相比，包装重量轻了20%、体积小了30%且功率降低了40%。

EPX系列主要特性和优势

1.占地面积小且重量轻一作为可用的小工具上泵之一，EPX显著节省了占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装选项。EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程使用。

2.受专利保护的特泵机构-EPX可以从大气压抽空到UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

3.超清洁机构-传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX泵没有高真空轴承油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源

4.非常可靠-EPX具有大约13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。

EPX系列支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点站应用。

EPX系列以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX泵采用已获专利的特单轴再生Holweck?分级机构，能够从大气压抽空到小于7×10-7Torr的极限压力。

EPX泵能够以模块化组件提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程安装。此外，通过集成的MicroTIM电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。

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EPX180L/EPX180LE技术参数：

峰值速度                                   170m3h-1

                                                  105ft3min-1

                                                   2835 Imin-1

极限真空                                   <1×104mbar

                                                   <7.5x10-5Tor

                                                   <1×10-2Pa

预热时间（达到标称性能）        30分钟

入口法兰                                     ISO63

出口法兰                                     NW25

噪音                                           <59 dB(A)

水接头                                         3/8in

小冷却水流速                            2 lm-1

冷却水温度                                 15-35°

电源供给                                      200/208V,50/60Hz三相

极限功率                                    1.4kW

电机额定功率                             3.0kW

TIM                                            C3

重量                                           43.5kg

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